专业生产低温捕集泵，低温冷阱，低温冷阱机

摘 要：采用低温冷凝原理,通过真空室内冷凝盘管的低温表面迅速冷凝真空系统中的游离水和其它高沸点蒸汽,可以大大提高抽空系统的抽空效率,,减少扩散泵返油对真空室造成的污染,提升产品品质.

 在分子泵和油扩散泵抽空系统中，影响真空度和抽空速度主要是水蒸汽和其它高沸点气体（如返油蒸汽、CO2）低温冷阱主 要用于分子泵、油扩散泵抽空系统。其工作原理与低温捕集泵相似，主要是快速凝结抽空系统中的水蒸汽和其它高沸点气体，减少扩散泵返油造成的真空室污染，提 高抽空系统的抽速，提高系统真空度。一般用于对真空度和洁净度要求比较高的镀膜系统，对于分子泵或油扩散泵抽空系统，可以在不对现有真空系统进行大的改造 基础上（只增加一个法兰挡板），提高机组工作效率。

低温冷阱机工作特点是：

1．保持长期连续工作；

2．适合要求高真空、高抽速的真空系统；

3．最大程度上减少扩散泵返油对真空室的污染，可以容易地获得洁净的真空环境；

4．低功耗高效率。